Unidades de detecção de vazamento de gás hélio através de analise por espectrometria de massa, com sistema de bombeamento de 5L/s, detecção de gás com precisão de 0.01E-12 ~ E-6; com bomba molecular turbo de 31L/s; bomba rotativa de óleo de 30 a 36L/min; com “sniffer” (farejadores) de detecção de vazamento de 0.01E-8 ~ E-3 Pa･m³/s e controlador de painel de toque capacitivo de 7 polegadas.